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Workshop 6:
Qualitätssicherung, Mess- und Prüfverfahren für die Beschichtungstechnik

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14. und 15. Oktober 2015 im WYNDHAM Garden Hotel Dresden

Mittwoch, 14. Oktober 2015

14:00 Uhr
μ-XRF als Analysemethode zur Material- und Oberflächenuntersuchung
Elena Blokhina, Roald Tagle, Falk Reinhardt, Bruker Nano GmbH, Berlin
14:30 Uhr
Chemische Analyse von Oberflächen mit FTIR-Mikroskopie
Gernot Hoehne, Bruker Optik GmbH, Ettlingen
15:00 Uhr
Von der mechanischen Charakterisierung im Mikro- und Nano-Bereich zum Anwendungsverhalten
Thomas Chudoba, ASMEC GmbH, Radeberg
15:30 Uhr
Pause
16:30 Uhr
Charakterisierung des Perkolationsverhaltens von Leitlacken mittels Hochfrequenz Wirbelstrom.
Iryna Patsora, Susanne Hillmann, Martin Schulze, Matthias Pooch, Dieter Joneit, Henning Heuer, Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS, Dresden
17:00 Uhr
Detektion und Identifikation von Pinholes in Isolations- und
Barriereschichten
Andreas Schulz, Sandra Gaiser, Martina Leins, Stefan Merli, Mariagrazia Troia, Matthias Walker, Thomas Hirth, Friedrich Kessler, Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie, Universität Stuttgart
17:30 Uhr
Ende des 1. Workshop-Tages

Donnerstag, 15. Oktober 2015

09:00 Uhr
Quantitative in-situ und in-line Prozesskontrolle für Plasmabasierte Abscheidungs- und Ätzprozesse
Steffen Ureat, Marcello Binetti, Christian Camus, LayTec AG, Berlin
09:30 Uhr
In-situ Wachstums-Monitoring von ALD-Beschichtungsprozessen
Helge Ketelsen, Uwe Richter, Irina Kärkkänen, Hassan Gargouri, Jessica Scheidewind, Adrian Blümich, Michael Arens, SENTECH Instruments GmbH, Berlin
10:00 Uhr
Referenz-kompensierte Ellipsometrie zur schnellen Prozesskontrolle
Niklas Reineking, Dirk Hönig, Accurion GmbH, Göttingen
10:30 Uhr
Pause
11:30 Uhr
Inline-Charakterisierung von leitfähigen Beschichtungen und Trocknungsprozessen
Martin Busch, Marcus Klein, Suragus GmbH, Dresden
12:00 Uhr Hyperspectral Imaging zur inline-fähigen 100% Schichtcharakterisierung
Wulf Grählert, F. Gruber, P. Wollmann, S. Kaskel, Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS, Dresden
12:30 Uhr Industrieller Einsatz des Nanoindentationsverfahrens im Rahmen der Qualitätsüberwachung von Beschichtungsprozessen
Bernd Binder, Gottfried Bosch, Tanja Haas, Hans-Peter Vollmar, Helmut Fischer GmbH, Institut für Elektronik und Messtechnik, Sindelfingen
13:00 Uhr Workshopende

 

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