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Workshop 6:
Qualitätssicherung, Mess- und Prüfverfahren für die Beschichtungstechnik

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Mi., 14.10.2015 von 14:00 – 17:30 Uhr und
Do., 15.10.2015 von 09:00 - 13:00 Uhr


Die Funktionalität und Zuverlässigkeit von Beschichtungen auf Oberflächen von Komponenten und Bauteilen entscheiden über die Qualität des Produktes und seine Lebensdauer im vorgegebenen Beanspruchungsprofil. Dabei wird die Qualität durch eine komplexe Prozesskette in der Wechsel-wirkung von Substrateigenschaften, Prozessparametern und Schichtmerkmalen bestimmt. Für die fertigungsnahe Qualitätssicherung werden dabei sowohl in- und on-line Messverfahren aber auch at- bzw. off-line Prüfverfahren zur Beurteilung von Substrat-, Prozess- und Schichtkenngrößen herangezogen.

Beschichtungen nach dem Stand der Technik sind durch Multifunktionalität, vertikalen Mehr- bzw. Vielschichtaufbau oder Hybridstrukturen und lateral durch hohe Integrationsdichte bzw. Mikro- und Nanostrukturierungen gekennzeichnet. Daher sind Prüfverfahren mit einer relativen Materialunabhängigkeit, hoher vertikalen und lateralen Auflösung von besonderem Interesse. Ein Schwerpunkt wird deshalb auf das Mapping und Imaging von Oberflächenkenngrößen gesetzt.

Im Ergebnis sind die hinreichend gleichbleibende Qualität des Substratmaterials, die anforderungsgerechte Reinigungstechnologie, die Stabilität der Prozessführung, die Vermeidung von prozessinduzierten Verunreinigungen sowie die Bestimmung der Zielkenngrößen im Toleranzband zuverlässig und mit angepassten Taktzeiten zu erfassen, simulativ zu beschreiben und adaptiv anzupassen. Im Rahmen von unterschiedlichen Qualitätssicherungsmaßnahmen (z.B. DIN EN ISO 9000 ff., VDI-Richtlinien) werden Referenzschichten verwendet und Rückstellproben herangezogen, um Abweichungen von der Spezifikation frühzeitig erkennen bzw. Ausfallursachen validiert (DIN EN ISO/IEC 17025) aufklären zu können.

Der Workshop beinhaltet dazu Fachvorträge von Experten aus Industrie und Forschung. Er soll die Teilnehmer über aktuellste Entwicklungen zur Qualitätssicherung sowie Mess- und Prüfverfahren in der Beschichtungstechnik informieren sowie eine Kommunikationsplattform für enge Kontakte von Wissenschaft und Wirtschaft darstellen und neuartige Lösungsansätze zu den o.g. Themenkreisen und ihrer wechselseitigen Abhängigkeit aufzeigen.

Ansprechpartner:
Dr. Uwe Beck, uwe.beck@bam.de

Veranstalter:
• BAM Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung, Berlin
• Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e. V., Dresden

Programmkomitee:
• Dr. Uwe Beck, BAM, Berlin
• Dr. Ludwig van Loyen, EFDS, Dresden
• Dr. Thomas Chudoba, ASMEC GmbH Dresden
• Prof. Dr. Heuer, Fraunhofer IKTS-MD Dresden
• Dr. Höhne, Bruker Optik GmbH, Ettlingen
• Dr. Arens, Sentech GmbH, Berlin
• Dr. Vollmar, Helmut Fischer GmbH, Sindelfingen

 

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