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Workshop 5:
Gepulste Hochleistungsplasmen für industrielle Beschichtungsprozesse

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Mittwoch, 14. Oktober 2015 im WYNDHAM Garden Hotel Dresden

09:00 Uhr
Analyse von Grenzflächen und Defekten in ultradünnen Plasmabeschichtungen auf polymeren Werkstoffen
Guido Grundmeier, Teresa de los Arcos, Jan Dietrich, Lehrstuhl für Technische und Makromolekulare Chemie, Universität Paderborn
09:30 Uhr
Wirkmechanismen bei der Barriereausrüstung von Kunststoffen mit Hilfe von PECVD
Rainer Dahlmann, D. Kirchheim, M. Jaritz, Institut für Kunststoffverarbeitung in Industrie und Handwerk (IKV), RWTH Aachen
10:00 Uhr
Industrielle Beschichtungsanlagen für SiOx-Barrieren auf PET – Flaschen – „Speed up“
Sebastian Kytzia, Joachim Konrad, KHS Plasmax GmbH, Hamburg
10:30 Uhr
Kaffeepause
11:30 Uhr
Abscheidung von SiOx-Schichten mittels Mikrowellenplasma- CVD, Bestimmung der Plasmaparameter sowie deren Verknüpfung mit zahlreichen Schichteigenschaften
Felix Mitschker, Peter Awakowicz, M. Rudolph, J. Dietrich, T. de las Arcos, A. Nave, J. Röpcke, G. Grundmeier, Lehrstuhl für Allgemeine Elektrotechnik und Plasmatechnik, Ruhr-Universität Bochum, Universität Paderborn, INP Greifswald
12:00 Uhr
Vom Target zum Substrat – Teilchentransport am Beispiel einer kapazitiv gekoppelten Mehrfachfrequenz Sputteranlage
Stefan Ries, D. Grochla, J. Trieschmann, N. Bibinov, S. Bienholz, A. Ludwig, T. Mussenbrock, P. Awakowicz, Lehrstuhl für Allgemeine Elektrotechnik und Plasmatechnik, Ruhr-Universität Bochum
12:30 Uhr
Interpretation von Strom-Spannungskurven bei High Power Pulsed Magnetron Entladungen
C. Maszl, A. Hecimovic, T. de los Arcos, W. Breilmann, V. Layes, V. Schulz-von der Gathen, Achim von Keudell, Lehrstuhl für Experimentalphysik II, Ruhr-Universität Bochum
13:00 Uhr
Mittagspause
14:00 Uhr
Gepulste Hochleistungsplasmen für die Premiumbeschichtung von Zerspanwerkzeugen
Christoph Schiffers, Toni Leyendecker, Werner Kölker, Stepphan Bolz, CemeCon AG, Würselen
14:30 Uhr
Analyse von nitridischen und oxinitridischen HPPMS-Beschichtungen für den Einsatz in der Kunststoffverarbeitung
Nathan C. Kruppe, Ricardo H. Brugnara, Tobias Brögelmann, Kirsten Bobzin, Institut für Oberflächentechnik (IOT), RWTH Aachen
15:00 Uhr
Gepulste Hochleistungsplasmen: Neue Entwicklungen und industrielle Anwendungen
Helmut Rudigier, Siegfried Krassnitzer, Denis Kurapov, M. Arndt, Oerlikon Surface Solutions AG, Balzers, Liechtenstein
15:30 Uhr
Kaffeepause
16:30 Uhr
Plasma-Analyse und Vergleich von HIPIMS- und Lichtbogenver-dampfungsprozessen in einer industriellen Beschichtungsanlage
Tetsuya Takahashi, Rainer Cremer, KCS Europe GmbH, Monschau
17:00 Uhr
Elastisch-plastisches Verformungsverhalten nanostrukturierter HPPMS-Hartstoffschichten
Mostafa Arghavani, Ricardo H. Brugnara, Tobias Brögelmann, Kirsten Bobzin, Institut für Oberflächentechnik (IOT), RHTW Aachen
17:30 Uhr
Ende des Workshops

 

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