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Workshop 6:
Qualitätssicherung, Mess- und Prüfverfahren für die Beschichtungstechnik

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16. und 17. Oktober 2013 im RAMADA Hotel Dresden

Mittwoch, 16. Oktober 2013

14:00 Uhr
Charakterisierungsmethoden für beschichtete präzisionsoptische Komponenten
Martin Bischoff; Qioptiq Photonics GmbH & Co. KG, Göttingen
14:30 Uhr
Prozesskontrolle und Qualitätssicherung bei der Inline-PVD-Großflächenbeschichtung
Holger Pröhl; VON ARDENNE Anlagentechnik GmbH, Dresden
15:00 Uhr
Qualitätssicherung in der Prozesskette zur PVD-Beschichtung von Hochleistungswerkzeugen mittels Sputterverfahren in Batch-Anlagen
Christoph Schiffers; CemeCon AG, Würselen
15:30 Uhr
Pause
16:30 Uhr
Abbildende Ellipsometrie - mikroskopische Bestimmung oder Kartierung von Schichtdicken und  optischen Konstanten sowie die Detektion von Verunreinigungen und Oberflächeninhomogenitäten
Peter Thiesen; Accurion GmbH, Göttingen 
17:00 Uhr
Laserinduzierte Zerstörung und Defekte in optischen Hochleistungsschichten 
Detlev Ristau; Laserzentrum Hannover e.V.
17:30 Uhr
Ende des 1. Workshop-Tages

Donnerstag, 17. Oktober 2013

09:00 Uhr
Prozesskontrolle in der Solarzellenfertigung mittels spektroskopischer Reflektometrie
Helge Ketelsen; SENTECH Instruments GmbH, Berlin
09:30 Uhr
Das Labor in der Linie: Reduzierung der Messunsicherheiten spektrometrischer in-line Messungen
Chris Hellwig, Jörg Margraf, Torsten Büttner; Carl Zeiss Microscopy GmbH, Jena
10:00 Uhr
In-situ und in-line Messsysteme für die Prozesskontrolle in der Halbleiter-Epitaxie und Dünnschichtfertigung
Steffen Uredat, Kolja Haberland; LayTec in-inline GmbH, Berlin
10:30 Uhr
Pause
11:30 Uhr Zerstörungsfreie Prüfung von dünnen Schichten mittels Röntgenfluoreszenz 
Simone Dill, Wolfgang Klöck; HELMUT FISCHER GmbH - Institut für Elektronik und Messtechnik, Sindelfingen
12:00 Uhr
Möglichkeiten der hochauflösenden Wirbelstromspektroskopie zur berührungslosen Charakterisierung elektrischer Eigenschaften und Defektoskopie von TCO/TCM Schichten
Marcus Klein;SURAGUS GmbH, Dresden

12:30 Uhr

Zentrifugentechnologie für eine effektive Bestimmung von Haftfestigkeiten bei Normalkraftbeanspruchung: Messprinzip, Messgenauigkeit und Applikationsbeispiele
Dietmar Lerche, U. Rietz; LUM GmbH, Berlin
13:00 Uhr Workshopende

das Programm als.pdf downloaden


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